ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজ
Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd., Jiangsu প্রদেশের Suzhou শহরের Wuzhong জেলায় অবস্থিত, ওয়েফার পরিদর্শন অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উচ্চ-নির্ভুল XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজের একটি নেতৃস্থানীয় প্রস্তুতকারক। 18 বছরেরও বেশি নির্ভুল মেশিনিং এবং মোশন কন্ট্রোল দক্ষতার সাথে, আমরা কাস্টম 4-অক্ষ (X/Y/Z/Theta) গ্যান্ট্রি পজিশনিং সিস্টেম তৈরিতে বিশেষজ্ঞ যা 200mm, 300mm, এবং 450mm ওয়েফার পরিদর্শন সরঞ্জামগুলির জন্য সাব-মাইক্রোন নির্ভুলতা প্রদান করে৷
ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য আমাদের XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজ ±1µm অবস্থান নির্ভুলতা এবং ±0.1µm পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা অর্জনের জন্য উচ্চ-দৃঢ়তার গ্রানাইট বেস, এয়ার বিয়ারিং গাইড, রৈখিক মোটর ড্রাইভ এবং নির্ভুল অপটিক্যাল এনকোডারকে একীভূত করে। ক্লিনরুম পরিবেশে (ক্লাস 100/ক্লাস 10) 24/7 অপারেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, আমাদের গ্যান্ট্রি স্টেজে অতি-নিম্ন কম্পন, উচ্চ গতিশীল প্রতিক্রিয়া (500mm/s সর্বোচ্চ বেগ), এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে যাতে সমগ্র উত্পাদন জুড়ে নির্ভরযোগ্য ওয়েফার ত্রুটি সনাক্তকরণ এবং মাত্রিক পরিমাপবিদ্যা নিশ্চিত করা যায়।
● ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য কাস্টম XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজ আপনার ওয়েফার পরিদর্শন সরঞ্জামের স্পেসিফিকেশন এবং CAD ড্রয়িংয়ে তৈরি
গুরুত্বপূর্ণ ওয়েফার পরিমাপের জন্য ন্যানোমিটার-স্তরের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা (±0.1µm) সহ ±1µm অবস্থান নির্ভুলতা
● ক্লিনরুম পরিবেশে ঘর্ষণহীন গতি এবং শূন্য কণা তৈরির জন্য বায়ু বহনকারী প্রযুক্তি
● অতি-উচ্চ নির্ভুলতার জন্য সক্রিয় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ (±0.01°C) সহ তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল নকশা
● ISO 9001:2015 সেমিকন্ডাক্টর শিল্প সম্মতির জন্য সম্পূর্ণ ট্রেসেবিলিটি সহ প্রত্যয়িত উত্পাদন
মূল বৈশিষ্ট্য এবং মূল সুবিধা
উচ্চ দৃঢ়তা যান্ত্রিক নকশা
ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য আমাদের XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজে মনোলিথিক গ্রানাইট বেস (তাপ সম্প্রসারণ সহগ <0.5 × 10⁻⁶/°C) এবং কার্বন ফাইবার রিইনফোর্সড পলিমার (CFRP) গ্যান্ট্রি বিমগুলি ব্যতিক্রমী কাঠামোগত অনমনীয়তা এবং ন্যূনতম থার গঠনের জন্য বৈশিষ্ট্যযুক্ত। সিমেট্রিক গ্যান্ট্রি ডিজাইন অ্যাবে ত্রুটি দূর করে এবং সমগ্র ওয়েফার পরিদর্শন এলাকায় অভিন্ন লোড বিতরণ নিশ্চিত করে।
যথার্থ গতি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা
উচ্চ-পারফরম্যান্স লিনিয়ার মোটর ড্রাইভ (শূন্য ব্যাকল্যাশ, উচ্চ ত্বরণ) এবং পরম অপটিক্যাল এনকোডার (1nm রেজোলিউশন) এর সাথে একীভূত, আমাদের XYZT গ্যান্ট্রি পর্যায়গুলি সাব-মাইক্রোন নির্ভুলতার সাথে মসৃণ, সুনির্দিষ্ট গতি সরবরাহ করে। উন্নত সার্ভো কন্ট্রোল অ্যালগরিদম গতিশীল ত্রুটির জন্য ক্ষতিপূরণ দেয় এবং ওয়েফার স্ক্যানিং অপারেশনের সময় ন্যানোমিটার-স্তরের অবস্থানের স্থায়িত্ব নিশ্চিত করে।
ক্লিনরুম-রেডি ডিজাইন
ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য প্রতিটি XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজ ক্লাস 100/ক্লাস 10 ক্লিনরুম অপারেশনের জন্য ভ্যাকুয়াম-সামঞ্জস্যপূর্ণ উপাদান, সিল করা লিনিয়ার গাইড এবং কম-আউটগ্যাসিং উপকরণ (SEMI S2-0701-এর সাথে সঙ্গতিপূর্ণ) দিয়ে তৈরি করা হয়েছে। বায়ু বহনকারী প্রযুক্তি কণা তৈরিকে দূর করে, যখন আবদ্ধ তারের ব্যবস্থাপনা সিস্টেম উচ্চ-গতির ওয়েফার পরিদর্শন চক্রের সময় দূষণ প্রতিরোধ করে।
প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ
|
XYZT গ্যান্ট্রি স্টেজ মডেল |
ভ্রমণের পরিসর (X/Y/Z/Theta) |
কর্মক্ষমতা বিশেষ উল্লেখ |
|
DT-WI200 (200mm ওয়েফার) |
300×300×50mm / ±3° |
±1µm নির্ভুলতা, ±0.1µm পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, 500mm/s বেগ, 5m/s² ত্বরণ |
|
DT-WI300 (300mm ওয়েফার) |
400×400×75mm / ±3° |
±1.5µm নির্ভুলতা, ±0.2µm পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, 400mm/s বেগ, 4m/s² ত্বরণ |
|
DT-WI450 (450mm ওয়েফার) |
500×500×100mm / ±3° |
±2µm নির্ভুলতা, ±0.3µm পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, 300mm/s বেগ, 3m/s² ত্বরণ |
|
DT-WI-কাস্টম (কাস্টম) |
প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী কাস্টম |
উপযোগী নির্ভুলতা/পুনরাবৃত্তি, কাস্টম বেগ/ত্বরণ, বিশেষ ক্লিনরুম রেটিং |
মেকানিকাল স্পেসিফিকেশন
বেস উপাদান: কালো গ্রানাইট (00级) / CFRP যৌগিক
গাইড সিস্টেম: যথার্থ এয়ার বিয়ারিং / লিনিয়ার রোলার গাইড
ড্রাইভ সিস্টেম: বল স্ক্রু সহ ব্রাশহীন লিনিয়ার মোটর / সার্ভো মোটর
প্রতিক্রিয়া: পরম অপটিক্যাল এনকোডার (1nm রেজোলিউশন)
পরিবেশগত বিশেষ উল্লেখ
● অপারেটিং তাপমাত্রা: 20±0.5°C (সক্রিয় তাপ নিয়ন্ত্রণ)
● ক্লিনরুম রেটিং: ক্লাস 100 (ISO ক্লাস 5) / ক্লাস 10 (ISO ক্লাস 4)
● কম্পন বিচ্ছিন্নতা: সক্রিয়/প্যাসিভ কম্পন নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা
● পাওয়ার সাপ্লাই: 200-240V AC, 50/60Hz, 1-ফেজ/3-ফেজ
অ্যাপ্লিকেশন
● কণা এবং প্যাটার্ন ত্রুটির জন্য 200mm/300mm/450mm ওয়েফারের উচ্চ-গতি স্ক্যানিং
● অপটিক্যাল/মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটি সনাক্তকরণ সিস্টেমের জন্য ন্যানোমিটার-স্তরের অবস্থান
● বিকৃত ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য গতিশীল সমতলতা ক্ষতিপূরণ
● লেজার স্ক্যানিং এবং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি পরিদর্শন সরঞ্জামগুলির সাথে একীকরণ
ওয়েফার মেট্রোলজি
ওয়েফার ডাইমেনশনাল মেট্রোলজি
● ওয়েফার বেধ, নম, এবং ওয়ার্প পরামিতিগুলির যথার্থ পরিমাপ
● ওভারলে মেট্রোলজি সিস্টেমের জন্য সাব-মাইক্রোন স্তরের প্রান্তিককরণ
● তাপমাত্রা-সংবেদনশীল মেট্রোলজির জন্য তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল অবস্থান
● ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ার জন্য স্বয়ংক্রিয় ইন-লাইন মেট্রোলজি
ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ
ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ এবং হ্যান্ডলিং
● ওয়েফার লিথোগ্রাফি এবং এচিং প্রক্রিয়ার জন্য উচ্চ-নির্ভুল প্রান্তিককরণ
● ক্লিনরুম-সামঞ্জস্যপূর্ণ ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং ট্রান্সফার সিস্টেম
● লেজার ডাইসিং এবং ওয়েফার পাতলা অপারেশন জন্য গতিশীল অবস্থান
● রোবোটিক ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং অটোমেশন সিস্টেমের সাথে একীকরণ
হট ট্যাগ: ওয়েফার পরিদর্শন প্রস্তুতকারক, সরবরাহকারী, কারখানার জন্য চীন XYZT গ্যান্ট্রি মোশন স্টেজ
অনুসন্ধান পাঠান
যোগাযোগের তথ্য
-
ঠিকানা
বিল্ডিং 5, ইউওয়াং এন্টারপ্রেনারশিপ পার্ক, নং 2011 তিয়ান'ই ড্যাং রোড, হেংজিং স্ট্রিট, উঝং অর্থনৈতিক উন্নয়ন অঞ্চল, সুঝো, জিয়াংসু প্রদেশ, চীন
-
টেলিফোন
-
ই-মেইল
একটি সাশ্রয়ী মূল্যের পাইকারি মূল্য খুঁজছেন? আপনার অঙ্কন বা নমুনা এখন Deaote এ পাঠান। আমাদের পেশাদার দল দ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং উচ্চ-মানের কারখানা-সরাসরি উদ্ধৃতি প্রদান করে।
